潔凈工程車間怎樣控制污染
在顯示器生產(chǎn)中,潔凈工程車間環(huán)境污染控制的好壞決定了顯示器生產(chǎn)效率的高低。顯示器的整個生產(chǎn)過程都必須在受控環(huán)境要求中進(jìn)行,中山科瓦特凈化工程公司告訴大家:大部分的顯示器都在10萬級潔凈工程車間中生產(chǎn)。隨著高科技的發(fā)展需求,有些顯示器必須在高精度的潔凈工程環(huán)境下生產(chǎn)。?其污染控制難度的相應(yīng)變大,需采用適合的分析產(chǎn)率和塵粒產(chǎn)生的方法。廠家并不總是分析塵粒的組成,他們往往通過查看玻璃面板的生產(chǎn)過程來查找、分析塵粒產(chǎn)生的根本原因。
進(jìn)入潔凈工程車間的人員必須要穿潔凈服,別外每周要進(jìn)行清洗,包裝前需測試塵粒度,然后才能投入使用。所用的消耗品,包括抹布、拖把、過濾器等在進(jìn)車間前需滅菌并雙層包裝。潔凈工程車間的工作人員每六個月需經(jīng)再次培訓(xùn)以加強(qiáng)工作技能。
為了更好地控制污染,在潔凈車間,需定期監(jiān)控,保證環(huán)境的潔凈度和工具的運(yùn)轉(zhuǎn)正常。系統(tǒng)性清潔衛(wèi)生和定期檢修可以幫助降低潔凈車間的塵粒度。在潔凈車間 地監(jiān)控在線塵粒的方法就是使用一塊作證的面板,這塊面板是一塊帶金屬層的玻璃襯底。將這塊面板放在潔凈車間的內(nèi)移動,可以監(jiān)控不同區(qū)域的塵粒。如果塵粒大量增多,就需進(jìn)行分析,解決問題。
污染物可能對工藝過程和器件產(chǎn)生下列影響:器件工藝良品率。在一個污染環(huán)境中制成的器件會引起多種問題。污染會改變器件的尺寸,改變表面的潔凈度,并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生產(chǎn)的過程中,有一系列的質(zhì)量檢驗(yàn)和檢測,他們是為檢測出被污染的晶片而特殊設(shè)計(jì)的。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過程,從而導(dǎo)致成本升高。
器件性能。一個更為嚴(yán)重的問題是在工藝過程中漏檢的小的污染。晶片看起來是干凈的,但其中未能檢測出來的顆粒、不需要的化學(xué)物質(zhì)和高濃度的可移動離子污染物,可能會改變器件的電性能。這個問題通常是在芯片切割時(shí)的電測試中顯現(xiàn)出來。
器件可靠性。最令人擔(dān)心的莫過于污染對器件可靠性的失效影響。小劑量的污染物可能會在工藝過程中進(jìn)入晶片,而未被通常的器件測試檢驗(yàn)出來。然而,這些污染物會在器件內(nèi)部移動,最終停留在電性敏感區(qū)域,從而引起器件失效,因此潔凈工程行業(yè)的環(huán)境要求與發(fā)展會逐漸成為高科技行業(yè)關(guān)注的目標(biāo),
隨著顯示器行業(yè)和市場的發(fā)展,對顯示器品質(zhì)的要求也越來越高。品質(zhì)控制工具逐漸成為廠家管理生產(chǎn)的方法。同時(shí),顯示器行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化也是未來發(fā)展的一個趨勢,這無疑把潔凈工程建設(shè)推向了一個更高的平臺。
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